六氟化钼(MoF6) |
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化学式 |
MoF6 |
中文名称 |
六氟化钼 |
英文名称 |
molybdenum hexafluoride |
CAS No. |
7783-77-9 |
分子量 |
209.93 |
充装系数 |
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应用 |
高纯六氟化钼用于半导体工业用作强氟化剂、成膜材料及离子掺杂。 |
产品规格 |
≥99.9% |
百科:
六氟化钼是一种化学物质,分子式:MoF6
性质:白色块状结晶。密度2.55lg/cm3(液态,17.5℃)。熔点17.5℃。沸点35℃。遇干空气、氯气、二氧化硫不起反应。对湿空气敏感,生成蓝色的氧化钼。大量水溶解并分解。在强氧化剂存在下,室温能侵蚀许多金属(金、铂除外),使金属表面变为蓝色。与碱性氟化物生成配位化合物M21[MoF8]。
将钼粉加入铂管中,通干燥氟,加热至60℃即可制得。
主要用于钼的同位素分离。可在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钼或钼,以制作低电阻、高熔点的互连线。