电子化学品

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磷酸三甲酯(TMPO)
   
化学式 C3H9O4P;(CH3O)3PO
中文名称 三甲基磷酸酯,磷酸三甲酯
英文名称 Trimethyl phosphate
CAS No. 512-56-1
分子量 140.08
充装系数  
应用 用作测定锆的试剂、医药、农药的溶剂和萃取剂及气相色谱固定液;用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半导体、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
产品规格 ≥99.9999995%


磷酸三甲酯,Trimethyl phosphate,别名名称三甲基磷酸酯,磷酸三甲酯,分子式C3H9O4P,分子量,140.08。主要用作医药和农药的溶剂及萃取剂。也用作添加型阻燃剂和增塑剂,但阻燃效率不高,挥发性大,一般与其他阻燃剂配合作用。

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