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四氯化硅(SiCl4)，属于无色或淡黄色发烟液体，有刺激性气味。受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用，高浓度可引起角膜混浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿。皮肤接触后可引起组织坏死。

四氯化硅是生产有机硅、白炭黑和三氯氢硅的原料，根据多晶硅企业的总体设计，副产物四氯化硅都要通过氢化工艺再转化为多晶硅的主要原料三氯氢硅。如果处理不当，会对环境造成污染。目前，国内大多数多晶硅企业对四氯化硅综合利用十分重视，千吨级以上项目大多配有四氯化硅氢化装置以及氯化氢、氢气回收系统，副产物的回收率也普遍在95%以上。

利用多晶硅工业副产物四氯化硅为原料生产的气相法白炭黑是一种纳米级的高新技术精细专用化学添加剂，广泛应用于橡胶、塑料、涂料、胶粘剂、密封胶等高分子工业领域。充分利用四氯化硅，能够降低多晶硅生产成本，达到多晶硅生产节能减排、洁净环保、循环利用的目的，进一步提高我国多晶硅生产企业的技术水平和市场竞争力，从而促进我国多晶硅工业快速健康发展。同时，四氯化硅又能为气相法白炭黑行业提供大量原料，从而促进我国气相法白炭黑行业的发展，进而推动我国的太阳能及其他高技术和新材料领域的健康发展。因此，多晶硅副产物的利用成为我国多晶硅行业的节能减排、清洁生产和可持续发展的重要环节。

SiCl4醇解，生产硅酸酯SiCl4 + 4HO-R ----Si(OR)4 + 4HCl；如果醇含有少量的水，则生成聚酯，如果是无水醇类，则生成正硅酸酯，其中正硅酸甲酯和正硅酸乙酯应用比较广泛，尤其是作为室温硫化硅橡胶的交联剂。硅酸乙酯可用于精密铸造，作为砂型的粘结剂；也可用来对金属表面渗硅，处理光学玻璃可提高透光度；完全水解后产生的极细氧化硅粉可用于制造荧光粉；还可用于制造耐热、耐化学品的涂料；用硅酸乙酯蒸气处理的金属表面可防腐防水。