乙硅烷(Si2H6)Disilane | |
化学式 | Si2H6 |
中文名称 | 乙硅烷 |
英文名称 | Disilane |
CAS No. | 1590-87-0 |
分子量 | 66.22 |
充装系数 | |
应用 | 太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。 |
产品规格 | ≥99.999% |
百科:
乙硅烷(Disilane)是一种无机化合物,其化学式为Si2H6,在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质,但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定,在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300~500℃分解成为SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。