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乙硅烷(Si2H6)Disilane​
   
化学式 Si2H6
中文名称 乙硅烷
英文名称 Disilane
CAS No. 1590-87-0
分子量 66.22
充装系数  
应用 太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。
产品规格 ≥99.999%

百科:

乙硅烷(Disilane)是一种无机化合物,其化学式为Si2H6,在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质,但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定,在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300~500℃分解成为SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。

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