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砷烷(AsH3)
   
化学式 AsH3
中文名称 砷烷
英文名称 Arsine
CAS No. 7784-42-1
分子量 77.93
充装系数  
应用 砷烷用于半导体工业中外延硅的n型掺杂;硅中n型扩散;离子注入;生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与III/V族元素形成化合物半导体。
AsH3可用于合成与微电子学及固态雷射有关的半导体材料。与磷相似,砷是硅及锗的n-掺染物。更重要的用途是以AsH3为原料,在700-900°C通过化学气相沉积来制造半导体材料砷化镓(GaAs)。
产品规格 99.9999%

百科:

砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体,有大蒜气味.与空气混合形成可燃混合气。砷烷微溶于水和有机溶剂,易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定,在230-240℃下开始分解。砷烷是一种溶血性毒物,可中毒神经。

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