艾佩科（上海）气体有限公司
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| 砷烷（AsH3） | |
| 化学式 | AsH3 |
| 中文名称 | 砷烷 |
| 英文名称 | Arsine |
| CAS No. | 7784-42-1 |
| 分子量 | 77.93 |
| 充装系数 | |
| 应用 |
砷烷用于半导体工业中外延硅的n型掺杂；硅中n型扩散；离子注入；生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与III/V族元素形成化合物半导体。 AsH3可用于合成与微电子学及固态雷射有关的半导体材料。与磷相似，砷是硅及锗的n-掺染物。更重要的用途是以AsH3为原料，在700-900°C通过化学气相沉积来制造半导体材料砷化镓（GaAs）。 |
| 产品规格 | ≥99.9999% |
百科：
砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，有大蒜气味．与空气混合形成可燃混合气。砷烷微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定，在230-240℃下开始分解。砷烷是一种溶血性毒物，可中毒神经。
