艾佩科（上海）气体有限公司
地 址：上海市闵行区纪翟路1199弄12栋5楼（樽轩工业区）
电 话：021-54153376，021-64783001
手 机：13795418000
传 真：021-64783002
邮 箱：Davidxu@apkgas.com
APK (Shanghai ) Gas Co.,Ltd
Address ：5F, Block 12 No.1199 Ji DiRoad, Minhang , Shanghai, 201107, CHINA
Tel: 0086 21 54153376
Fax: 0086 21 64783002
HP: 13795418000
Email：Davidxu@apkgas.com
| 磷烷（PH3） | |
| 化学式 | PH3 |
| 中文名称 | 磷烷 |
| 英文名称 | Phosphine |
| CAS No. | 7803-51-2 |
| 分子量 | 34 |
| 充装系数 | 0.2kg/L (气瓶公称工作压力为15MPa时) |
| 应用 | 主要用于硅烷外延的掺杂剂，磷扩散的杂质源。同时也用于多晶硅化学气相淀积、外延GaP材料、离子注入工艺、化合物半导体的MOCVD工艺、磷硅玻璃（PSG）钝化膜制备等工艺中。 |
| 产品规格 | ≥99.9997% |
百科：
磷烷具有五配位磷的有机化合物，稳定的磷烷多为氟原子的衍生物或环状磷酸酯。
无色，剧毒，易燃烧气体，带有令人生厌的大蒜味。
电子气中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大，是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
PH3，易燃、易爆、剧毒，其毒性 数为：PEL/TLV 0.3ppm，STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，属剧毒危害品。
