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无水氟化氢(HF)
   
化学式 HF
中文名称 氟化氢
英文名称 Hydrogen  fluoride
CAS No. 7664-39-3
分子量 20.0064
充装系数 0.83kg/L
应用 MEMS 的蚀刻工艺中,高纯度无水氟化氢(HF)与二氟化氙(XeF2)用于去除硅的牺牲区域。
产品规格 99.9%~99.999%

百科:

工业无水氟化氢是一种用途广泛的化工产品,外观为无色发烟液体的99%以上的氢氟酸,在减压或高温下易气化。主要用作制取氟盐、氟卤烷烃、氟致冷剂、腐蚀玻璃、浸渍木材、电解元素氟等。

无水氟化氢也称为无水氢氟酸,与一般氢氟酸不同,一般氢氟酸是氟化氢气体溶解于水所形成的酸液,氟化氢是气体,是纯净物。氢氟酸是混合物。

无水氟化氢,高纯度,常温下为气体,如果是特殊情况也能使液体和固体。

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