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| 四氟化硅（SiF4） | |
| 化学式 | SiF4 |
| 中文名称 | 四氟化硅 |
| 英文名称 | Silicon Tetrafluoride |
| CAS No. | 7783-61-1 |
| 分子量 | 104.08 |
| 充装系数 | |
| 应用 | 有机硅化合物的合成材料，水泥和人造大理石的硬化剂，氟硅酸及氟化硅的制造，硅的外延生长，等离子蚀刻，太阳能电池，复印机感光筒，非晶硅膜生成，化学气相淀积。遇水生成腐蚀性极强的氟硅酸。主要用于氮化硅（Si3N4）和硅化钽（TaSi2）的等离子蚀刻、发光二极管P型掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料。 |
| 产品规格 | ≥99.9%~≥99.999% |
百科：
四氟化硅无色、有毒、有刺激性臭味的气体，易潮解，在潮湿空气中可产生浓烟雾。在1318mmHg(1mmHg=133.322Pa)压力下的熔点(三相点)为-90.2℃。在-95.7℃升华。液体的相对密度为1.590(-88℃)。吸湿性非常强，但如果完全无湿气时，并不腐蚀玻璃、汞、活塞上的润滑脂、橡胶等。加压下变成液体。
