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| 六氟化钨（WF6） | |
| 化学式 | WF6 |
| 中文名称 | 六氟化钨 |
| 英文名称 | Tungsten Hexafluoride |
| CAS No. | 7783-82-6 |
| 分子量 | 297.8 |
| 充装系数 | 2.8kg/L |
| 应用 | 主要用作电子工业中金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料, 用它制成的WSi2 可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料, 另外还可以作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。 |
| 产品规格 | ≥99.99%~≥99.999% |
百科：
六氟化钨，无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。
在钨的氟化物中，WF6是稳定并被工业化生产的品种。主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层，可用于X-射线的发射电极。此外，WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。
WF6还有许多非电子方面的应用，例如通过CVD技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢的表面性能。它还可用于制造某些钨制部件，如钨管和坩埚等。此外，WF6还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。
