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电子气体
气体名称	英文名称	分子式	纯度
四氟化碳	Carbon Tetrafluoride	CF4	99.999%
六氟化硫	Sulfur Hexafluoride	SF6	99.9%~99.999%
三氟甲烷	Trifluoromethane	CHF3	99.9%~99.999%
六氟乙烷	Hexafluoroethane	C2F6	99.9%~99.999%
八氟丙烷	Octafluoropropane	C3F8	99.999%
八氟环丁烷	Octafluorocyclobutane	C4F8	99.999%
六氟化钨	Tungsten Hexafuoride	WF6	99.99%~99.999%
三氟化氮	Nitrigen Trifluoride	NF3	99.999%
四氟化硅	Silicon Trifluoride	SiF4	99.9%~99.999%
三氟化硼	Boron Trifluoride	BF3	99.9%~99.999%
三氟化磷	phosphorus trifluoride	PF3	99.9%
三氟化氯	chlorine trifluoride	ClF3	99.9%
无水氟化氢	Hydrogen fluoride	HF	99.9%~99.999%
磷烷	Phosphine	PH3	99.9997%
砷烷	Arsine	AsH3	99.9999%
乙硼烷	Diborane	B2H6	99.99%~99.999%
锗烷	Germane	GeH4	99.999%
三甲基硼烷	Trimethyl Boron	B(CH3)3	99.5%
三氯化硼	Boron trichloride	BCl3	99.9%~99.9999%
氯气	Chlorine	Cl2	99.999%
氯化氢	Hydrogen Chloride	HCI	99.9%~99.999%
溴化氢	Hydrogen Bromide	HBr	99.999%
硫化氢	Hydrogen Sulfide	H2S	99.995%
硒化氢	Hydrogen Selenide , anhydrous	H2Se	99.99%
硅烷	Silane	SiH4	99.9999%
乙硅烷	Disilane	Si2H6	99.999%
二氯二氢硅	Dichlorosilane	SiH2Cl2	99.9%~99.99%
三氯氢硅	Trichlorosilane	SiHCl3	99.9%~99.99%
六氯乙硅烷	HCDS	Si2Cl6	99.9%~99.999%
正硅酸乙酯	TEOS	Si(OC2H5)4	99.9999995%
四氯化硅	Tetrachloride	SiCl4	99.99%~99.9999%
四氯化锗	Germane Tetrachloride	GeCl4	99.999%
氨气	Ammonia	NH3	99.999%~99.9999%
笑气	Nitrous Oxide	N20	99.9%~99.9999%
氖气	Neon	Ne	99.999%
氪气	Krypton	Kr	99.999%
氙气	Xenon	Xe	99.999%
混合气体
气体名称	混合气体		纯度
硅烷	SiH4 / H2, N2, Ar, He		100ppm ~99.9999%
乙硼烷	B2H6 / H2, N2, Ar, He		1000ppm-30%
磷烷	PH3 / H2, N2, Ar, He		20ppm%~99.999%
砷烷	AsH3 / H2, N2, Ar, He		100ppm ~99.9999%
锗烷	GeH4 / H2 , N2 , Ar , SiH4		100ppm ~99.9999%
三甲基硼烷	TMB / H2 , N2 , Ar , SiH4		0.1%~10%
四氟化碳	CF4+O2		定制
激光混合气	He , Ne , Kr , Xe , F2 , CO , N2 , O2,等混合气体		定制
工业气体
气体名称	英文名称	分子式	纯度
氮气	Nitrogen	N2	99.999%~99.9999%
氧气	Oxygen	O2	99.99%~99.999%
氩气	Argon	Ar	99.999%
氢气	Hydrogen	H2	99.999%~99.9999%
氦气	Helium	He	99.99%~99.9999%
二氧化碳	Carbon Dioxide	CO2	99.9%~99.999%
一氧化碳	Carbon Monoxide	CO	99.9%~99.998%
一氧化氮	Nitric Oxide	NO	99.999%
二氧化硫	Sulfur Dioxide	SO2	99.9%~99.995%
有机类气体
气体名称	英文名称	分子式	纯度
甲烷	Methane	CH4	99.9%~99.999%
乙烷	Ethane	C2H6	99.9%~99.999%
丙烷	Propane	C3H8	99.9%~99.999%
正丁烷	n-Butane	n-C4H10	99.5%
异丁烷	i-butane	i-C4H10	99.5%
乙烯	Ethylne	C2H4	99%~99.995%
丙烯	Propylene	C3H6	99%~99.995%
正丁烯	n-Butylene	n-C4H8	99.5%
异丁烯	i-Butylene	i-C4H8	99%~99.995%
丙炔	Propyhe	C3H4	99.5%
I-丁炔	I-butyhe	C4H6	99.5%
电子化学品
气体名称	英文名称	分子式	纯度
磷酸三甲酯	TMPO	C3H9O4P	99.9999995%
磷酸三乙酯	TEPO	C₅H₁₅O₄P	99.999995%
亚磷酸三甲酯	TMPi	C3H9O3P	99.999995%
硼酸三甲酯	TMB	C3H9BO3	99.9999995%
硼酸三乙酯	TEB	C6H15BO3	99.999995%
反-1,2-二氯乙烯	DCE	C2H2Cl2	99.999995%
溴化硼	Boron tribromide	BBr3	99.9999%
三氯氧磷	Phosphorus oxychloride	POCl3	99.9999%~99.99999%
二氟化氙	Xenon difluoride	XeF2	99.999%
六氟化钼	molybdenum hexafluoride	MoF6	99.9%
氢氟酸	Hydrofluoric acid	HF	试剂级、电子级
磷酸	Phosphoric acid	H3PO4	试剂级、电子级

MO源
气体名称	英文名称	分子式	纯度
三甲基镓	TMG	Ga(CH3)3	99.9999%
三乙基镓	TEG	Ga(C2H5)3	99.9999%
三甲基铟	TMIn	In(CH3)3	99.9999%
三甲基铝	TMAl	C3H9Al	99.9%~99.9999%
二茂镁	Cp2Mg	Mg(C5H5)2	99.9999%
四溴化碳	CBr4	CBr4	99.9999%
二乙基锌	DEZn	Zn(C2H5)2	99.9%-99.9999%
二乙基碲	DETe	Te(C2H5)2	99.9999%
二乙基铍	DEBe	Be(C2H5)2	99.9999%

前驱体材料 Precursor material （金属有机类）
序号	中文名	化学式	CAS号	中文别名	英文名
1	三甲基铝	C3H9Al	75-24-1	TMA	Trimethylaluminium
2	三甲基锑	Sb(CH3)3	594-10-5	TMSb	Trimethylantimony
3	三乙基锑	C6H15Sb	617-85-6	TESb	Antimony triethide
4	二叔丁基碲	PhTeMgBr	83817-35-0	DTBT	Tert-butyl telluride
5	二乙基碲	Te(C2H5)2	627-54-3	TETe	Telluriumdiethyl
6	二异丙基碲	C6H14Te	51112-72-2	DipTe	Diisopropyl telluride
7	三（二甲氨基）镓	Ga(N(CH3)2)3	57731-40-5	TDMAG	Tris(dimethylamido)gallium(III)
8	三（二甲氨基）锑	C6H18N3Sb	7289-92-1	TDMASb	Tris(dimethylamino)antimony
9	四（二甲氨基）铪	C8H24HfN4	19962-11-9	TDMAH	Tetrakis(diethylamion)hafnium
10	四（甲乙胺基）铪	C12H32HfN4	352535-01-4	TEMAH	Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV)
11	四（二甲氨基）锗	C8H24GaN4	7344-40-3	TDMAGe	Germanium dimethylamide
12	四（二甲氨基）锆	C8H24N4Zr	19756-04-8	TDMAZ	Tetrakis(diethylamion)zirconium(Ⅳ)
13	四（甲乙胺基）锆	C12H32N4Zr	175923-04-3	TEMAZ	Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium(iv)
14	四（二甲氨基）锡	C8H24N4Sn	1066-77-9	TDMASn	Tetrakis(dimethylamino)tin
15	四（二甲氨基）钛	C8H24N4Ti	3275-24-9	TDMAT	Titanium tetrakis(dimethylamide)
16	四（甲乙胺基）钒	C12H32N4V	791114-66-4	TEMAV	Tetrakis(ethylmethylamino)vanadium
17	五（乙氧基）钽	C10H30O5Ta	6074-84-6	PETOTa	Tantalum(5+) ethanolate
18	五（二甲氨基）钽	C10H30N5Ta	19824-59-0	PDMATa PDMAT	PDMAT,Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)
19	二茂铁	C10H10Fe	102-54-5	FeCp2	Ferrocene
20	二茂锰	C10H10Mn	73138-26-8	MnCp2	Bis(cyclopentadienyl)manganese(Ⅱ)
21	二茂镍	C10H10Ni	1271-28-9	NiCp2	Bis(η5-2,4-cyclopentadien-1-yl)nickel
22	二茂钌	C10H10Ru	1287-13-4	RuCp2	Ruthenocene
23	甲基二茂镁	C12H14Mg	40672-08-0	Mg(MeCp)2	Bis(methylcyclopentadienyl)magnesium
24	乙基二茂镁	C14H18Mg	114460-02-5	Mg(EtCp)2	Bis(ethylcyclopentadienyl)magnesium
25	乙基二茂锰	C14H18Mn	101923-26-6	Mn(EtCp)2	Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese
26	乙基二茂钌	C7H9RuC7H9	32992-96-4	Ru(EtCp)2	Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II)
27	三甲基甲基环戊二烯基铂	C9H16Pt	94442-22-5	(MeCp)Pt(CH3)3	(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum (IV)
28	（四甲基庚二酮）锂	C11H19LiO2	22441-13-0	Li(thd)	(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato)lithium
29	（四甲基庚二酮）银	C11H19AgO2	79827-25-1	Ag(thd)	2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato silver (I)
30	二（六氟戊二酮）铜	C10H2CuF12O4	14781-45-4	Cu(hfac)2	Copper(II) hexafluoro-2,4-pentanedionate
31	三（乙酰丙酮）铱	C15H21IrO6	15635-87-7	Ir(acac)3	Iridium(III) acetylacetonate
32	三（四甲基庚二酮）镧	C33H57LaO6	14319-13-2	La（thd）3	BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II)
33	二（四甲基庚二酮）铅	C22H38O4Pb	21319-43-7	Pb(thd)2	BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II)
34	三（四甲基庚二酮）铋	C33H57BiO6	142617-53-6	Bi(thd)3	BISMUTH TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATE)
35	三（四甲基庚二酮）铒	C33H57ErO6	34750-80-6	Er(thd)3	ERBIUM TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATE)
36	三（四甲基庚二酮）钇	C33H57O6Y	15632-39-0	Y(thd)3	TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)YTTRIUM(III)
37	环戊二烯铟	C5H5In	34822-89-4	InCp	Cyclopentadienylindium (I)
38	四氯化锡	Cl4Sn	7646-78-8	Cl4Sn	Tin tetrachloride
39	四异丙醇钛	C12H28O4Ti	546-68-9	TIPT	Titanium tetraisopropanolate
40	叔丁醇锂	C4H9LiO	1907-33-1	TBOLi	Lithium tert-butoxide

41	二乙基锌	Zn(C2H5)2	557-20-0	DEZ	Diethylzinc
42	二甲基锌	Zn(CH3)3	544-97-8	DMZ	Dimethylzinc
43	三甲基镓	Ga(CH3)3	1445-79-0	TMG	Trimethylgallium
44	三乙基镓	Ga(C2H5)3	1115-99-7	TEG	Triethylgallium
45	三甲基铟	C3H9In	3385-78-2	TMI	Trimethylindium
46	三甲基铋	(CH3)3Bi	593-91-9	TMB	Trimethylbismuth
47	二乙基鈹	Be(C2H5)2	542-63-2	DEB	Diethylberyllium
48	四（甲乙胺）钛	C12H32N4Ti	308103-54-0	TEMAT	Ethyl(methyl)azanide,titanium(4+)
49	二茂镁	C10H10Mg	1284-72-6	MgCp2	Magnesocene
50	二茂钴	(η5-C5H5)2Co	1277-43-6	CoCp2	Cobaltocene
51	二（六氟乙酰丙酮）钯	C10H8F18O4Pd	64916-48-9	Pd(hfac)2	Palladium(II)hexafluoro-2,4-
52	三（四甲基庚二酮）钕	C33H60NdO6	15492-47-4	Nd(thd)3	Neodymium-thd
53	三（四甲基庚二酮）镱	C33H57O6Yb	15492-52-1	Yb(thd)3	Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)ytterbium(III)
54	四（四甲基庚二酮）铈	C22H38CeO4	18960-54-8	Ce(thd)4	Tetrakis(tetramethylheptanedionato)cerium
55	甲基环戊二烯镧	C27H39La	148607-23-2	La(MeCp)3	Tris(tetramethylcyclopentadienyl)lanthanum
56	三(二(三甲硅)胺)镧	C18H54LaN3Si6	175923-07-6	La(TMSA)3	Bis(trimethylsilyl)azanide,lanthanum(3+)
57	二（N,N’-二异丙基乙脒基）钴	(C8H17N2)2Co	635680-58-9	Co(iPr-MeAMD)2	Bis(N,N'-di-i-propylacetamidinato)cobalt(II)
58	二（N,N’-二异丙基乙脒基）镍	(C8H17N2)2Ni	635680-62-5	Ni(iPr-MeAMD)2	Bis(N,N'-diisopropylacetamidinato) Nickel (II)
59	三（N,N’-二异丙基乙脒基）镧	(C8H17N2)3La	635680-72-7	La(iPr-MeAMD)3	lanthanum tris(N,N'-diisopropylacetamidinate)
60	三（N,N’-二异丙基乙脒基）钇	(C8H17N2)3Y		Y(iPr-MeAMD)3	Yttrium tris(N,N'-diisopropylacetamidinate)
61	六羰基钼	Mo(CO)6	13939-06-5	Mo(CO)6	Molybdenum hexacarbonyl
62	三甲基甲基环戊二烯铂	C9H16Pt	94442-22-5	Me3Pt(MeCp)	(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum (IV)
63	甲基环戊二烯钇	C18H21Y	329735-72-0	Y(MeCp)3	Tris(methylcyclopentadienyl)yttrium(III)
64	乙氧基铌	Nb(OC2H5)5	3236-82-6	PETONb	Niohium pentaethnxidc
65	叔丁醇铁	C12H27FeO3	620945-29-1	3TBOFe	Iron t-butoxide
66	三异丙氧基镓	C9H21GaO3	4452-61-3	TPGa	GALLIUM (III) ISOPROPOXIDE
67	四氯化钛	TiCl4	7550-45-0	TiCl4	Titanium tetrachloride
68	四氯化碳	CCl4	56-23-5	CCl4	Carbon tetrachloride
69	四溴化碳	CBr4	558-13-4	CBr4	Carbon tetrabromide
70	五氯吡啶	C5Cl5N	2176-62-7	PCP	Pentachloropyridine
71	硼化合物	B compound		AMY-B-330	boride compound
72	甲氧基锗	C4H12GeO4	992-91-6		Germanium(Ⅳ) methoxide

前驱体材料 Precursor material （硅基化合物）
序号	中文名	化学式	CAS号	中文别名	英文名
1	双(叔丁基氨基)硅烷	([NH(C4H9)]2SiH2)	186598-40-3	BTBAS	Bis(t-butylamino)silane
2	三(二甲氨基)硅烷	C6H19N3Si	15112-89-7	3DMAS	Tris(dimethylamino)silane
3	(N,N-二硅烷基-硅烷胺)	H9NSi3	13862-16-3	TSA	N,N-Disilylsilanamine
4	双(二乙胺基)硅烷	C8H22N2Si	27804-64-4	BDEAS(SAM24)	Bis(diethylamino)silane
5	二(异丙氨基)硅烷	C6H17NSi	908831-34-5	DIPAS(LTO-520)	Diisopropylaminosilane
6	正硅酸乙酯	C8H22N2Si	78-10-4	TEOS	Tetraethyl Orthosilicate
7	六氯乙硅烷	Si2Cl6	13465-77-5	HCDS	Hexachlorodisilane
8	三(二(三甲硅)胺)钆	C18H54GdN3Si6	35789-03-8	Gd(TMSA)3	Bis(trimethylsilyl)azanide,gadolinium(3+)